單晶硅生產過程中產生的粉塵通常為微米級的顆粒,且粉塵吸濕性較低,不易結塊,但若含油霧,可能形成粘附。硅粉塵在特定條件下,可能形成爆炸混合物,具有易燃易爆性。
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