所有的氣源（載氣和氧氣）都應通過潔凈干燥的銅或不銹鋼管線來輸送。這些管線都應經過仔細的沖洗和干燥以確保氣體不受污染。清洗新管線時，先用三氯甲烷或三氯乙烷，然后用甲醇或丙酮，zui后用空氣干燥。能夠溶解油或油脂的其他溶劑也可使用。所有溶劑都應是試劑級或質量更好的溶劑。所有的氣源都應是高純氣體，其純度必須達到系統規定的要求。每一個鋼瓶都需配備一個兩級壓力調節器，以使將氣瓶壓力降到所要求的工作壓力。連接好所有的氣體接頭以后，應仔細檢查系統有無泄漏，確保氣路系統的完好性。